隨著市場對改善硬質涂層的耐磨、潤滑、抗腐蝕等性能的需求急劇增長,陰極電弧磁過濾離子鍍設備成為亮點。設備采用最常用、最有效的90度彎管圓截面磁過濾裝置,能高效地去除大顆粒,從而把陰極電弧離子鍍技術的優越性發揮到極致。在制備DLC超硬涂層領域,尤其是在制備具有高硬度、低摩擦系數、導熱、絕緣、吸收紫外線、抗輻射損傷、耐腐蝕等諸多優良的物理化學特性的Ta-C涂層領域,優勢尤為顯著,Ta-C涂層平均硬度最高可達約63GPa。
設備可沉積Ta-C/AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN等碳的雜化態類金剛石涂層;適用于微鉆、銑刀、絲錐、桿狀類刀具、汽車零部件、醫療器械等領域。
Ta-C涂層測試數據:
激光Raman光譜檢測結果,高速鋼表面有Cr過渡層的拉曼光譜:
樣品20210122 Raman檢測結果的高斯擬合(ID/IG=0.224, sp3的含量足夠高):
納米壓痕儀硬度檢測檢測結果,樣品20210122的平均硬度為62.7GPa: