隨著手機產業需求迅速增長,傳統光學機的裝載量已無法滿足,振華為解決這一需求推出了磁控濺射鍍光學膜設備。
設備特點:
(1)工件架采用圓筒式設計,鍍膜面積大,產品裝載量是同規格電子束蒸發設備的2倍。工件架設計公轉與自轉結構,可適應多種形狀工件,用途更廣;
(2)采用中頻磁控圓柱靶濺射系統及離子源輔助系統,膜層致密,折射率高且穩定,附著力強,不易吸附水汽分子,在各類環境中,比傳統電子束蒸發設備所沉積的膜層保持更穩定的光學性能;
(3)配備了晶控監測系統精確控制膜層厚度,工藝穩定性高,重復性好;SPEEDFLO閉環及全自動控制系統,有效提高SiO2的沉積速率;
(4)恒溫夾具設計有效控制產品溫度,可適應超薄PET、PC材質類產品。
設備可用于沉積TiO2、SiO2、Nb2O5、In、Ag、Cr等材料,可實現各類光學彩膜、AR膜、分光膜等,已廣泛應用于PET膜片/復合板、手機蓋板玻璃、手機中框、3C電子產品、太陽眼鏡、香水瓶、水晶等產品。