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      1. 產品介紹
        PRODUCT DESCRIPTION

        該鍍膜線要用于單面或雙面沉積透明導電薄膜金屬氧化物及單質金屬膜層。采用模塊化設計,方便日后擴展升級;鍍膜線的鍍膜室長期保持高真空狀態,雜氣少,膜層純凈度高,折射率好;工藝參數可追溯,生產過程實現全程監控,方便追蹤生產不良;設備自動化程度高,配合機械手使用可銜接上下工序,實現連續穩定的流水線作業;設備產量高達萬片/小時,生產節拍快,產量大,實現有效降本增效。


        主要應用于晶硅電池、碲化鎘電池、鈣鈦礦電池、建筑玻璃、TCO導電玻璃等產品。


        01.產能:8000-12000片/小時

        02.設計:定制化,降本增效,保密專屬

        03.優化:提供更大膜寬,穩定等離子體場域, 增加膜層均勻度

        04.工藝:可承載多臺陰極,可供不同折射率膜層疊加,達成電池受光面減反功能

        05.靶材:旋轉靶材使用率高

        06.穩定:配合不同靶材與陰極做到穩定電控的PID回饋,維持靶材使用期間膜厚的均一性

         

        備注:設備可根據客戶要求定制。

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