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      1. 電子槍蒸發鍍膜的操作過程

        文章作者:廣東振華科技
        閱讀:39
        發布時間:2023-07-14
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            高壓電子槍發射的電子束流的密度很大,如果電子束落點控制不當,電子束流不能偏轉到金屬錠上,可能將鍍膜室壁等處加熱燒熔,所以按照電子槍的操作程序進行操作很重要。

        電子束蒸發鍍膜設備.jpg

        1)一般電子槍的槍電壓是確定的,所以首先開啟磁場電源,調到預定的磁場電流。設定磁場強度 H,即確定電子束軌跡,保證電子束的偏轉半徑按預定的軌跡運行,使電子束斑能落到甘塌內的金屬錠上。

        2)開啟槍的高壓電源,槍電壓為設定值。

        3)開啟鎢絲加熱電源,緩慢加熱鎢絲。

        4)逐漸增大鎢絲的加熱電流,在坩堝內的金屬錠表面可看到電子束束斑。

        5)增大燈絲電流預熔金屬錠,加大電子束電流將金屬錠預熔,可以看到金屬液的滾動。如果束斑不在金屬錠的中心,可以調磁場電流,稍微改變電子束的偏轉半徑,使電子束斑點正好落在金屬錠中央。

        6)繼續增大燈絲電流,加大電子束功率充分預熔金屬錠,然后打開塌上方的擋板,蒸發的膜料飛向工件形成膜層。

            在e形電子槍的操作中,如果不預先給出磁場電流,電子束不會產生偏轉,有可能直接射向其他地方而燒毀某些部件。預定磁場電流的目的是使電子束一出來就按照預定軌道產生偏轉。

            為了擴大電子束斑的作用范圍,電子槍電源還配有 X一Y掃描系統,使電子束在金屬錠表面掃描,擴大金屬熔化區域的蒸發面積,使蒸發金屬量增多,從而提高沉積速率。

            產業化過程中,必須固定槍電壓、磁場電流、鎢絲加熱電流及掃描條件,還要保證一定的冷卻水溫度與流量、金屬錠的散熱量,以確保金屬的蒸發量的穩定;否則難以保證膜層質量的重復性,尤其在反應沉積化合物薄膜時,金屬的蒸發量一定了,才能保證化合物薄膜的成分符合化學計量比。

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