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      1. 弧光電子流的特點與產生方法

        文章作者:廣東振華科技
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        發布時間:2023-07-14
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        1.弧光電子流的特點

            弧光放電產生的弧光等離子體中的電子流、離子流、高能中性原子的密度比輝光放電高得多。在鍍膜空間內有更多的氣體離子和金屬電離、受激發的高能原子及各種活性基團,它們在鍍膜過程中的加熱、清洗、鍍膜階段發揮了重要作用?;」怆娮恿鞯淖饔眯问胶碗x子束不同,不全是匯聚成“束”,多數是發散狀態,所以稱之為弧光電子流。因為弧光電子流向陽極運動,所以弧電源的正極接在哪里,弧光電子流就射向哪里,陽極可以是工件、輔助陽極、坩堝等。

        陰極電弧離子鍍膜設備.jpg

        2.產生弧光電子流的方法

        (1) 氣體源產生弧光電子流:空心陰極弧光放電、熱絲弧弧光放電的弧電流都可以達到200A左右,弧電壓為50~70V。

        (2) 固體源產生弧光電子流:陰極電弧源,包括小弧源、柱弧源、矩形平面大弧源等。每個陰極電弧源放電的弧電流為 80~200A,弧電壓為 18~25V。

            兩種弧光放電等離子體中的高密度、低能量的弧光電子流與氣體、金屬膜層原子可以產生劇烈的碰撞電離,獲得更多的氣體離子、金屬離子和各種高能活性原子和活性基團,從而提高了膜層離子整體的活性。

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