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      1. 射頻放電的利用

        文章作者:廣東振華科技
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        發布時間:2023-06-21
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        1、有利于濺射鍍絕緣膜。電極極性的迅速變化可用于直接濺射絕緣靶材獲得絕緣膜。如果采用直流電源濺射沉積絕緣膜時,絕緣膜會阻擋正離子進入陰極,形成正離子堆積層,易造成擊穿打火。陽極沉積絕緣膜后會阻擋電子進入陽極,產生陽極消失現象。而采用射頻電源鍍絕緣膜時,由于電極極性是交替變換的,上半個周期在陰極上積累的正電荷將在下半個周期內被電子中和,陽極上積累的電子被正離子中和;下半周期過程相反可以消除電極上的電荷積累,放電過程可以正常進行。

        磁控濺射鍍光學膜設備.jpg

        2、高頻電極產生自偏壓。在平板電極結構的射頻裝置中,采用電容耦合匹配的電路中高頻電極產生自偏壓。放電中電子遷移速度與離子遷移速度的巨大差異,使在給定時間中電子能夠得到更大的運動速度,而離子速度較慢造成累積,高頻電極在每個周期的大部分時間處于負電位,對地形成負電壓,這就是高頻電極的自偏壓現象。

            射頻放電電極產生的自偏壓加速離子轟擊陰極電極不斷發射二次電子維持放電過程,自偏壓起到了和直流輝光放電中陰極位降類似的作用。雖然采用的是射頻電源,但是由于高頻電極產生的自偏壓可以達到 500~1000V,所以放電可以穩定進行。


        3、射頻放電在后面介紹的大氣壓下輝光放電和介質阻擋型輝光放電中發揮了重要作用。

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